摘要：CVD设备是用于进行CVD工艺的专用设备,包含各种组件和系统,以实现沉积过程的控制和监测。 2. CVD CVD设备通常由以下主要组件组成: 2.1 加热系统是CVD设备的核心组件,用于提供......CVD设备是用于进行CVD工艺的专用设备,包含各种组件和系统,以实现沉积过程的控制和监测。 2. CVD CVD设备通常由以下主要组件组成: 2.1 加热系统是CVD设备的核心组件,用于提供
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